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FORMULA系列高功率紫外纳秒激光器技术项目通过科技成果评价
2019.09.10
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2019年9月9日,中科合创(北京)科技成果评价中心组织专家,在北京召开了由英诺激光科技股份有限公司完成的“FORMULA系列高功率紫外纳秒激光器技术”项目科技成果评价会。专家组审阅了技术方提供的技术资料,听取了技术研究汇报,经质询、答疑和讨论,形成如下意见:
1.提供的技术资料基本齐全,符合科技成果评价要求。
2.该技术利用腔内三倍频技术,实现了平均功率高于30W的紫外激光输出,从红外到紫外的能量转换效率接近50%。
3.该技术采用自主设计的激光谐振腔、温度控制技术、以及基于FPGA的高速信号处理,使得激光器具有光束质量M2小于1.2、光斑圆度大于95%,以及脉冲峰值功率稳定性小于2%(rms),12小时平均功率稳定性小于0.5%(rms)。在消费类电子领域得到应用。
4.该技术获得多项专利。
综上所述,专家组同意通过科技成果评价,整体技术达到国际先进水平。
专家组成员
陈黎明 中国科学院物理研究所副主任、研究员
刘俊岐 中国科学院半导体研究所研究员
王治安 北京人工晶体研究所教授级高级工程师
徐 征 北京交通大学教授
方少波 中国科学院物理研究所研究员
王 毅 工业和信息化部电子工业标准化研究院高级工程师
金 石 教育部科技发展中心研究员
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