2017年10月18日，中科合创（北京）科技成果评价中心组织专家，在北京召开了由北京航空航天大学、北京北仪创新真空技术有限责任公司和北京海斯德电机技术有限公司共同完成的“超高真空磁悬浮复合分子泵”项目科技成果评价会。评价委员会听取了项目组的研制报告、第三方测试报告、用户应用报告、查新报告，并观看了产品演示。经过质询、讨论，形成评价意见如下：

　　一、项目组提供的技术资料齐全，提供的测试数据有效可信，符合成果评价要求。

　　二、该项成果的技术创新点如下：

　　1、提出了一种基于三元流体理论的大抽速复合转子优化设计方法，突破了转子装配体模态、多级叶片强度、热辐射等多物理场综合优化技术瓶颈，解决了磁悬浮复合分子泵的大抽速和超高真空两类指标兼顾的难题。

　　2、发明了一种径/轴向一体化三自由度混合磁轴承结构，减小了磁悬浮轴承体积，提高了承载比，提出了基于磁悬浮轴承的复合转子现场动平衡和主动振动控制方法，解决了分子泵的极微振动控制难题，泵体振动位移小于0.012um，达到国际领先水平。

　　3、发明了基于电机能量回馈控制的磁轴承电力失效补偿装置，采用提出的反电动势主动控制方法，机械能至电能的转换效率提高了25%，显著增强了分子泵运行的可靠性。

　　三、研制成功了DN400CF型大抽速超高真空磁悬浮分子泵，在中国科学院电子学研究所中温真空炉、中国科学院半导体研究所EB700镀膜系统等用户进行了使用，大幅提高了真空设备的极限真空度和抽气速率。

　　该项目系统复杂、技术难度很大、创新性很强，具有完全自主知识产权，研制的国内抽速最大、极限真空度最高的超高真空磁悬浮复合分子泵，填补了国内在同类产品的空白，总体技术水平达到国际先进水平，其中泵体振动位移技术指标达到国际领先水平。项目成果已成功应用于国家、国防重大仪器装备、尖端科学实验仪器、高技术产业工艺装备等相关领域，符合国家战略需求，打破了国外对相关技术封锁，实现了其国产化的自主替代，具有显著的社会效益和经济效益。

　　技术评价委员会一致同意通过水平评价。

出席嘉宾名单

　　卢耀文　　中国空间技术研究院514所研究员

　　张纪峰　　中国科学院系统科学研究所研究员

　　孙富春　　清华大学计算机科学与技术系教授

　　夏元清　　北京理工大学自动化学院教授

　　姚竹贤　　中国航天电子技术研究院13所研究员

　　王　勇　　中国科学院电子学研究所研究员

　　陈大舟　　中国计量科学研究院研究员